先秦至唐五代的单音节语气词大都是从他类词语法化而来，其来源又可以分为六小类。
（一）指代词→语气词：者、焉、尔
这三个语气词都形成于先秦。语气词“者”源于自指代词“者”。如：
（1）此二君者，异于子干。（《左传·昭公十三年》）——自指代词
（2）故臣曰：“亡国之廷无人焉。廷无人者，非朝廷之衰也，家务相益，不务厚国。”（《韩非子·有度》）——提顿语气词，兼有话题标记功能
自指代词“者”常处于话题性成分“VP者”或“NP者”中，整个句法框架为“话题——说明（评述）”。“者”位于小句末，随着指代性减弱，加上在韵律上能使句子语气舒缓，从而演变为表停顿的语气词，同时兼有话题标记的功能；魏晋时还衍生出假设语气。
语气词“尔”源于表复指的代词“尔”。如：
（3）诛白公，定楚国，如反手尔，仁义功名善于后世。（《荀子·非相》）——指代词
（4）得天下助卒，名为十万，其实不过数万尔。（《尉缭子·制谈》）——提示义语气词
“尔”表提示语气，有些学者认为“尔”相当于“耳”表限制语气，其实限制语气大多是句子的句式义或句中语气副词的语气义，而非“尔”的语气义。
语气词“焉”源于表处所的代词“焉”。如：
（5）及庄公即位，为之请制。公曰：“制，岩邑也，虢叔死焉，佗邑唯命。”（《左传·隐公元年》）——指代词
（6）（季隗）对曰：“我二十五年矣，又如是而嫁，则就木焉。请待子。”（《左传·僖公二十三年》）——提示、确认义语气词
指代词“焉”指代的处所等往往在前文已经出现，比如例（5）“虢叔死焉”就是“虢叔死在那里（制）”，加之“VP焉”结构本身带有一定的提示意味，因而语义逐渐虚化，同时主观提示功能得以凸显而成为表提示、确认的语气词。
（二）动词→语气词：已、云、为、在、来
上古汉语的“已”以及近代汉语的“罢”“休”等最初都是停止义动词。“已”在先秦就出现了语气词用法。如：
（7）子曰：“凤鸟不至，河不出图，吾已矣夫！”（《论语·子罕》）——停止义动词
（8）其母曰：“人尽夫也，父一而已，胡可比也？”（《左传·桓公十五年》）——限制义语气词
“已”的语法化过程可以概括为：“停止”义动词→“算了；可以了”义动词→限制义语气词。这是一个语用推理的过程，从“停止”到主观地觉得“算了、可以了”，这是从客观的时间维度进入人的主观心理维度，再从“算了、可以了”衍生出“把事情往小里说”的限制语气。近代汉语的“罢”与“已”的演变过程大致相似，只是形成时间大大晚于“已”。如：
（9）从容草奏罢，宿昔奉清罇。（杜甫《奉汉中王手札》）——动词
（10）不必苦死留他，着他去了罢。（马致远《汉宫秋》第三折）——语气词
至于语气词“休”，形成于宋代，不表限制，而表催促、不耐烦、不满等语气。如：
（11）要来小酌便来休，未必明朝风不起。（李清照《玉楼春》）
“云”起初为言说义动词，汉代时演变为表不置可否、不确信义的语气词。如：
（12）一动一静者天地之间也，故圣人曰“礼乐”云。（《礼记·乐记》）——言说义动词
（13）鲁南宫敬叔言鲁君曰：“请与孔子适周。”鲁君与之一乘车，两马，一竖子俱，适周问礼，盖见老子云。（《史记·孔子世家》）——不确信义语气词
“云”语法化的动因是前景凸显，演变路径为：言说义→转述义→听说义→不置可否义→不确信义。[5]
“为”本是行为义动词，而后演变为表原因的介词，汉代演变为疑问语气词。如：
（14）重丘人闭门而诟之，曰：“亲逐其君，尔父为厉，是之不忧，而何以田为？”（《左传·襄公十七年》）——介词
（15）太子默然而逝，复前念言：“今我入山，当用宝衣为？”（东汉·竺大力共康孟详《修行本起经》卷下）——疑问语气词
“何以……为”结构中“为”本是动词，疑问代词“何”是“为”的前置宾语；由于“何”与“为”悬隔，加上“何”表义的多样性，以及“为”常处于句末位置，慢慢就从动词演变为介词再到语气词。[6]而“为”的疑问语气则是沾染的句式义。
“在”本为存在义动词，唐代演变为表确认、申明的语气词。如：
（16）还有昔时巢燕在，飞来飞去画堂中。（唐·许浑《朱坡故少保杜公池亭》）——动词
（17）（道士罗公）远曰：“已取得来，见于后园中放在。”（唐·张《朝野佥载》卷三）——确认、申明义语气词
动词“在”由于经常处于动词性结构后，存在义逐渐虚化，而它的语用功能——强调前面的VP为客观事实却逐渐增强、凸显，最后演变为语气词。
（三）名词→语气词：时、後、里
“时”和“後”都是时间名词，“时”在唐初、“後”在晚唐先后衍生出假设语气词功能。“时”“後”在“VP时”“VP後”中分别处于中心语位置，结构的语义重心。随着经常使用在假设的、未然语境中，“时”和“後”的词义虚化，结构的语义重心逐渐前移，而被重新分析为原条件小句的附加处分。语法化途径为：时间名词→时间名词或假设语气词两可→假设语气词→一般停顿语气词→名词话题标记。[7]如：
（18）钱财只恨无，有时实不惜。（唐·王梵志《人生一代间》）——时间名词
（19）世尊若差我去时，今日定当过丈室。（《敦煌变文·维摩诘经讲经文〈六〉》）——假设语气词
（20）别後若见之，为余一攀翻。（李白《金陵白下亭留别》）——时间名词
（21）若能晓了骊珠後，只这骊珠在我身。（《祖堂集》卷四）（骊珠：禅机）——假设语气词
“里”最初为方位名词，唐代时演变为表申明、确认的语气词。如：
（22）有诗曰：“椿儿绕树春园里，桂子寻花夜月中。”（唐·冯翊子《桂苑丛谈》）——方位名词
（23）幸有光严童子里，不交伊去唱将来。（《敦煌变文·维摩诘经讲经文〈四〉》）——语气词
方位词的语义虚化是汉语史上一个整体趋势，“里”由于语义显著度不够，比如“入河里”在上古、中古汉语中经常可以说成“入河”，因为“河”等处所名词在人们的语言心理中往往就是一个完形的容器，有无“里”并不影响交际的进行，同时由于“里”在结构式“NP里”中带有指明、强调意味，因而逐渐虚化为表申明、确认的语气词。
（四）否定副词→语气词：不、无
“不”“无”是分别在“VP不”“VP无”格式中语法化的，伴随的是反复问句分化为是非问句和反复问句。“不”语法化程度有一定限制，因而最后“无”取代“不”并最终演变为“麽”。宋金兰对汉藏语系诸语言进行了分析，发现否定词演变为疑问语气词是汉藏语系语言一个普遍演变趋势[8]。如：
（24）丙午卜，今日雨不？（转引自向熹《简明汉语史》[9]）——否定词
（25）宁能使不痛不耶？（东汉·支娄迦谶《道行般若经》卷五）——疑问语气词
（26）不知彼有法无？（三国吴·支谦《佛说义足经》卷下）——否定词
（27）拟提社酒携村妓，擅入朱门莫怪无？（白居易《令公南庄花柳正盛欲偷一赏先寄》）——疑问语气词
（五）动态助词→语气词：着；事态助词→语气词：来（来着）
动态助词“着（着）”最初是动词，表“附着”义，由于经常处于第二动词的位置，逐渐虚化为持续义动态助词，而后再从动态助词演变为语气词。如：
（28）见他宅舍鲜净，便即兀自占着。（《敦煌变文·燕子赋〈一〉》）——动态助词
（29）试留青黛着，回日画眉看。（唐·河北士人《寄内诗》）——祈使语气词
动态助词演变为语气词，在汉藏语系中非常普遍，如李永隧[10]、马学良[11]等所揭示的。
“来”最初是往来义动词，在第二动词位置上虚化为事态助词，再从事态助词衍生出语气词的用法。[12]近代汉语中的“来着”源头即是“来”。[13]如：
（30）莫言行万里，曾经相识来。（南朝梁·庾信《忽见槟榔》）——事态助词
（31）汝止有一手，那得遍笛，我为汝吹来。（南朝宋·刘义庆《幽明录》）——祈使语气词
（32）你刚才说什么来着？——委婉语气词
这里附带谈谈另一个时态助词“了”。“了”最初也是动词，而后演变为事态助词，再从事态助词发展出语气词的用法。刘勋宁认为语气词“了”是“了也”的合音[14]。如：
（33）者一队汉，向这里觅什摩？趁出了。（《祖堂集》卷十）——事态助词
（34）自有物无始以来，自己是换了几个父母了。（《朱子语类》卷一百二十）——表现时相关性的语气词
（六）形容词→语气词：好
形容词“好”可以修饰名词、动词等，带有主观评注性功能，在“VP好”中修饰性功能退化，同时评注性功能逐渐增强，在回溯推理（abduction）的作用下，衍生出“希望别人VP”的蕴涵义，即：VP好→希望（别人）VP。如：
（35）信知生男恶，反是生女好。（杜甫《兵车行》）——评注性形容词
（36）公子王孙莫来好，岭花多是断肠枝。（唐·韩琮《骆谷晚望》）——劝慰、祈使义语气词