先秦至唐五代语气词衍生主要有三种途径：① 词汇的语法化；② 短语和跨层结构的词汇化；③ 音变衍生。这三种途径又以语法化和词汇化为主，基本特征为：① 语义虚化，词类地位下降，同时主观性逐渐增强；② 从语义、句法功能为主过渡到以语用功能为主；在句法结构中的地位逐渐下降，很多时候可有可无；③ 从最初作用于词、短语层面提升到句子（小句）层面，成为语气标记。
语气词的衍生受以下三个方面的影响和制约：语义；句法结构和语境；语气词系统。这三个因素的合力形成一定的演变模式，从而促使某些演变在汉语史上反复发生，如平行演变、语义沾染等。
[1] 瞿霭堂：《论汉藏语的虚词》，《民族语文》1995年第6期。
[2] 宋金兰：《汉藏语是非问句语法形式的历史演变》，《民族语文》1995年第1期。
[3] 张定京：《现代哈萨克语虚词研究》，北京，民族出版社，2005，第188～253页。
[4] 汉语史上有过几次大的语言接触，如汉代以来的佛经传入、南北朝时期北方少数民族语言与汉语的接触、元代以来的阿尔泰语系语言的传入、明清以来西学东渐印欧语系对汉语的影响等。这些对汉语的发展演变或多或少产生了一定的影响。但是对语气词衍生的影响有多大呢？从已有的资料来看应该说很小，现在还没有具体发现哪个语气词是因为语言接触、渗透而衍生的。比如“似的”，以前曾有人认为源于蒙古语的“也似”，江蓝生（1992）经过研究，指出并非如此，而是来源于土生土长的“是的”。如：
（1）若是饶了这个**妇，自除非饶了蝎子娘是的。（《金瓶梅词话》12回）
但是语言接触对语气词的发展演变有一定推动作用，表现在使用的扩展、衍生出新的用法等。比如佛经的传入对汉语的口语化推动极大，促使口语中的语气词繁衍、扩展，进而对旧有的文言语气词进行新旧替代。再如元代的蒙古语对汉语特别是北方汉语的渗透，在语气词上留下了一些明显的痕迹，祖生利《元代白话碑文中助词的特殊用法》（《中国语文》2002年第5期）对“呵”等语气词的分析表明，“呵”本是一个停顿语气词，用于句中或小句末停顿处；因为汉语经常用“呵”来对译蒙古语的假定式副动词，这样“呵”大量使用作假设语气词，并逐渐取代已有的假设语气词“时”和“後”。比较下面两例［例（2）转引自江蓝生］:
（2）a.你道的是呵，两三句话，便成了交易。（古本《老乞大》23a）
b.你说的是时，两三句话，便成了交易。（《老乞大谚解》9b5）
（3）a.是人後，疾忙快分说；是鬼后，应速灭。（金·董解元《西厢记诸宫调》卷四）
b.是人呵，疾忙快分说；是鬼呵，合速灭。（王实甫《西厢记》第四折）
[5] 谷峰：《从言说义动词到语气词》，《中国语文》2007年第3期。
[6] 贾齐华：《疑问句尾的“为”词性演变探略》，《中国语文》2003年第5期。
[7] 江蓝生：《时间词“时”和“後”的语法化》，《中国语文》2002年第4期。
[8] 宋金兰：《汉藏语是非问句语法形式的历史演变》，《民族语文》1995年第1期。
[9] 向熹：《简明汉语史下册》，北京，高等教育出版社，1993，第11页。
[10] 李永燧：《哈尼语语法》，北京，民族出版社，1990。
[11] 马学良：《马学良民族研究论集》，北京，民族出版社，1992，第224页。
[12] 梁银峰：《汉语事态助词“来”的产生时代及其来源》，《中国语文》2004年第4期；《祈使语气词“来”的形成过程》，《汉语趋向动词的语法化》，上海，学林出版社，2007。
[13] 陈前瑞：《“来着”的产生与主观化》，《中国语文》2005年第4期。
[14] 刘勋宁：《现代汉语句尾“了”的来源》，《方言》1985年第2期。
[15] 杨永龙：《近代汉语反诘副词“不成”的来源及虚化过程》，《语言研究》2000年第1期；徐时仪：《语气词“不成”的虚化机制考论》，《华东师范大学学报（哲社版）》2000年第3期。
[16] 江蓝生：《跨层非短语结构“的话”的词汇化》，《中国语文》2004年第5期。
[17] 江蓝生：《语法化程度的语音表现》，《中国语言学的新拓展》，香港，香港城市大学出版社，1999。
[18] 胡明扬：《北京话的语气助词和叹词》，《中国语文》1981年第5、6期。
[19] 徐晶凝：《现代汉语话语情态研究》，北京，昆仑出版社，2008，第197页。
[20] 相关论述可以参阅潘悟云：《汉语否定词考源——兼论虚词考本字的基本方法》，《中国语文》2002年第4期。
[21] 吕叔湘：《释〈景德传灯录〉中“在”“著”二助词》，《中国文化研究所集刊》1941年第1卷。
[22] 胡明扬：《北京话的语气助词和叹词》，《中国语文》1981年第5、6期。
[23] 邵敬敏：《语气词“呢”在疑问句中的作用》，《中国语文》1989年第3期。
[24] 沈家煊：《语用原则、语用推理和语义演变》，《外语教学与研究》2004年第4期。